中文名：九甲基三硅氮烷
英文名：Nonamethyltrisilazane别名三(三甲基硅)胺
英文别名：Tris(trimethylsilyl)amineNMTS~Tris(trimethylsilyl)amine1,1,1-trimethyl-N,N-bis(trimethylsilyl)silanamineCAS1586-73-8EINECS216-445-0
化学式：C9H27NSi3
分子量：233.574InChIInChI=1/C9H27NSi3/c1-11(2,3)10(12(4,5)6)13(7,8)9/h1-9H3
密度：0.801g/cm3熔点70-76℃
沸点：189.8°C at 760 mmHg闪点75.9°C蒸汽压0.559mmHg at 25°C折射率1.418风险术语R34 - 引起灼伤。
安全术语S26 - 不慎与眼睛接触后，请立即用大量清水冲洗并征求医生意见。
S36/37/39 - 穿戴适当的防护服、手套和护目镜或面具。
S45 - 若发生事故或感不适，立即就医(可能的话，出示其标签)。