中文名：三(二甲胺基)硅烷
英文名：Tris(dimethylamino)silane别名三(二甲氨基)硅烷
英文别名：BRN 1901643N,N,N',N',N'',N''-HexamethylsilanetriamineSilanetriamine, N,N,N',N',N'',N''-hexamethyl-tris(dimethylamino)silylCAS15112-89-7EINECS239-165-0
化学式：C6H18N3Si
分子量：160.313InChIInChI=1/C6H18N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h1-6H3